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德国FABREEKA

定制xy移动隔振平台

名称：定制xy移动隔振平台

详细信息

台面尺寸：定制的大理石台面，形状及尺寸

• 低固有频率膜式空气弹簧  垂直方向固有频率：2.0 HZ  水平方向固有频率：1.5 HZ

• 高精密高度阀与水平控制器

• 用途：光学、半导体加工及测量平台


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