在半导体高精密设备中，振动的控制精度直接关系到产品的良率与性能。FABREEKA主动隔振系统通过智能化控制与多维度隔振，为设备提供了超稳定的工作环境。
1.高精度振动抑制
FABREEKA主动隔振系统采用高灵敏度传感器与作动器联动，能够检测并抵消低至纳米级的振动干扰。其控制算法可根据设备实时运行状态动态调整参数，例如在光刻机的曝光阶段，系统通过精j准控制隔振刚度，将振动幅度控制在0.1μm以内，确保光刻图案的精j确转移。
3.综合性能优势
宽频带隔振：覆盖从低频（如设备启动震动）到高频（如电机噪音）的全频段抑制。
环境兼容性：在温度、湿度变化或电磁干扰环境下仍保持稳定性能，适用于无尘车间与高洁净度实验室。
结语
FABREEKA主动隔振器不仅是振动控制的工具，更是半导体制造迈向纳米级工艺的核心保障，其技术革新将持续赋能行业突破瓶颈。
