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文章聚焦半导体制造中振动干扰难题，阐述 FABREEKA 主动隔振系统的重要作用。该系统由传感器、控制器和作动器协同工作，能主动抵消振动，具有实时响应、高度可调节的特性。实际应用中，它有效降低半导体产品次品率，减少设备故障停机时间，提升生产效能。FABREEKA 主动隔振系统以先进技术与卓越性能，为半导体产线稳定运行提供保障，助力行业精度升级
